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貝斯科技股份有限公司
加入時間:2010-08-24資本額:600萬
瀏覽次數:102by:貝斯科技
Hot chuck
Specification:1.Chuck Size: 4" 6”, 8”, 12&r
Specification:
1.Chuck Size: 4" 6”, 8”, 12”
2.Chuck Planarization: +/- 10um
3.Temp. Range: Ambient ~ 100/150/200/300/400/500/600°C
4.Temp. Accuracy: +/- 0.5°C
5.Power to Heat: AC/DC
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關鍵字:
#hot#chuck#加熱盤#8"#12"#4"