气体质量流量控制器 M3100V-A
韩国原装进口高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。
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韩国原装进口高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。
广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。
应用:
l 所有工业
l 气体混合及分析
l 注气、表面加工行业
(PVC,CVD,反应器等)
l 半导体工业
l 部件泄露检测
l 产品研究和开发
l 高压行业
l 光纤
l 燃料电池
l 反应器系统
l 气体的混合系统
优势:
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高精度(±1%F.S)
l 耐高压(95公斤)
l 快速响应时间(<1秒)
l 高重复性(±0.25%F.S)
规格:
型 号 | M3100V/A |
流量范围(N2) | 30~100 slpm |
响应时间 | <2秒 |
精确度 | ±1% |
重复精度 | ±0.25% |
输入输出信号 | 0~5Vdc or 4~20mA |
供电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
最大工作压力 | 30~1000 psia |
最大工作温度 | 0~50℃ |
漏率 | 1×10-9atm.cc/sec |
控制范围 | 2~100% |
上海昕潼
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